【財新網(wǎng)】日本對華半導體制造設備出口管制落地。當?shù)貢r間5月23日,日本政府正式出口管制規(guī)定,限制23種高性能半導體制造設備出口,新規(guī)將在7月23日施行。
據(jù)日本經(jīng)濟產(chǎn)業(yè)省的細則,23種管制物項中,3種關(guān)于半導體清洗,11種關(guān)于成膜,4種關(guān)于光刻,3種關(guān)于蝕刻,1種關(guān)于檢查,多為設備和設備中的零部件,并設定了標準。納入管制的物項包括:為制造使用了極紫外線的集成電路,使涂層的涂膠、成膜、加熱或顯影的設備;達到一定標準的干法蝕刻設備;對晶圓進行表面改性,然后進行干燥的葉式濕洗裝置等。



















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